APT là kỹ thuật phân tích 3D ở cấp nguyên tử, cho phép xác định vị trí và loại nguyên tử trong một thể tích rất nhỏ.

• Ứng dụng APT trong phân tích tạp chất kênh, phân bố dopant trong FinFET, và sự khuếch tán tại ranh giới hạt của cổng poly-Si.
• - Các thách thức bao gồm độ nhạy thấp ở thể tích nhỏ, độ chính xác thành phần, biến dạng không gian do hình dạng đầu mẫu, và thời gian phân tích dài.
• - Khó khăn trong chuẩn bị mẫu, đặc biệt khi nhắm đến các thiết bị có kích thước vài nanomet, và tỷ lệ thành công đo thấp.
• - Đề xuất cải tiến phần cứng (đầu dò siêu dẫn, tăng độ phân giải khối lượng), phần mềm (mô hình tái tạo hình học, tự động hóa phân tích), và quy trình (thiết kế cấu trúc kiểm tra chuyên biệt, tiêu chuẩn hóa).
• - APT có tiềm năng lớn trong phân tích lỗi, phát triển quy trình và đo lường cấu trúc 3D, nhưng cần cải tiến để đáp ứng yêu cầu sản xuất hàng loạt.