Quy trình này quy định các bước kiểm tra thiết bị sau khi hiệu chuẩn như thiết bị đo lường, cảm biến, bộ điều khiển… Nội dung bao gồm kiểm tra ngoại quan, xác nhận thông số kỹ thuật, thử nghiệm chức năng và lập biên bản kiểm tra. Tài liệu nêu rõ trách nhiệm của các bộ phận kỹ thuật, bảo trì và sản xuất trong việc phối hợp thực hiện. Các biểu mẫu kiểm tra được chuẩn hóa để đảm bảo tính minh bạch và đầy đủ. Việc kiểm tra sau hiệu chuẩn giúp đảm bảo thiết bị đạt độ chính xác cần thiết, ổn định và an toàn khi vận hành.