Nghiên cứu cho thấy cơ chế biến dạng của AlN phụ thuộc mạnh vào hướng tinh thể. Với các mặt [0001] và [1010], chuyển pha chiếm ưu thế; mặt [1210] chủ yếu xảy ra trượt đứt gãy; còn mặt [1012] là sự kết hợp của cả hai. Khi độ sâu nanoindentation tăng, cả chuyển pha và trượt đứt gãy đều xảy ra ở tất cả các mẫu. Hai con đường chuyển pha từ B4 sang B1 được xác định, khác nhau về trình tự chuyển động tương đối của nguyên tử Al và N. Kết quả cung cấp cái nhìn sâu sắc về cơ chế biến dạng định hướng trong vật liệu gốm kỹ thuật.