Phương pháp sử dụng dữ liệu từ kính hiển vi confocal để tạo ảnh độ cao bề mặt, sau đó áp dụng thuật toán DIC để xác định dịch chuyển theo ba chiều. Độ chính xác đạt được khoảng 10 nm cho cả ba thành phần dịch chuyển. Hai thí nghiệm được thực hiện: đo trường dịch chuyển quanh đầu vết nứt trên mẫu hợp kim Ni và đo biến dạng quanh vùng lõm do thử độ cứng Brinell trên thép AISI 1040. Kết quả cho thấy phương pháp có thể áp dụng cho cả bề mặt thô và được đánh bóng cao, với khả năng tích hợp vào phần mềm thương mại và ứng dụng rộng rãi trong phân tích cơ học vật liệu.