Xây dựng đầu đo khí nén độ phân giải micromet ứng dụng đo sai lệch độ tròn

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Bài báo nghiên cứu đầu đo khí nén có độ phân giải cao (0.1 µm) ứng dụng trong đo độ tròn. Thiết bị hoạt động theo nguyên lý áp suất và khe hở, với miền tuyến tính hẹp (1–31 µm). Để khắc phục, hai phương án bám biên dạng được đề xuất: sử dụng lò xo ống xiphon và hệ truyền động động cơ bước. Cả hai phương án đều đạt độ chính xác ±1 µm. Thử nghiệm thực tế cho thấy khả năng ứng dụng cao trong đo lường chính xác. Tác giả tiếp tục phát triển các phương án cải tiến khác.