Thiết bị đo nhiệt độ được phát triển trên nền tảng công nghệ MEMS, sử dụng cảm biến điện trở có độ nhạy cao với sự thay đổi nhiệt độ. Cảm biến được chế tạo bằng vật liệu bán dẫn mỏng, có kích thước nhỏ hơn 2 mm² và tích hợp trong một hệ thống đo hoàn chỉnh. Khi nhiệt độ thay đổi, điện trở của cảm biến biến thiên tuyến tính, cho phép xác định chính xác giá trị nhiệt độ. Thử nghiệm trong môi trường mô phỏng sinh học cho thấy sai số đo dưới 0.5°C trong dải nhiệt độ từ 30°C đến 45°C. Thiết bị có tiềm năng ứng dụng trong theo dõi nhiệt độ cơ thể, kiểm soát vi môi trường và các hệ thống y sinh khác.