Thiết kế và chế tạo thiết bị đo độ dẫn điện siêu nhỏ sử dụng cảm biến điện trở tích hợp cho ứng dụng y sinh

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Thiết bị đo độ dẫn điện được phát triển trên nền tảng công nghệ MEMS, sử dụng cảm biến điện trở có độ nhạy cao với sự thay đổi nồng độ ion trong dung dịch. Cảm biến được chế tạo bằng vật liệu bán dẫn mỏng, có kích thước nhỏ hơn 2 mm² và tích hợp trong hệ thống đo hoàn chỉnh. Khi độ dẫn điện thay đổi, điện trở của cảm biến biến thiên tuyến tính, cho phép xác định chính xác giá trị. Thử nghiệm trong môi trường mô phỏng sinh học cho thấy sai số đo dưới 3% trong dải độ dẫn từ 0.1 đến 2.0 S/m. Thiết bị có tiềm năng ứng dụng trong theo dõi chất điện giải, kiểm soát vi môi trường và các hệ thống y sinh khác.