Thiết kế và chế tạo thiết bị đo áp suất siêu nhỏ sử dụng cảm biến điện dung tích hợp cho ứng dụng y sinh

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Thiết bị đo áp suất được chế tạo dựa trên cảm biến điện dung tích hợp, sử dụng cấu trúc màng mỏng và điện cực cố định. Khi áp suất thay đổi, màng biến dạng làm thay đổi khoảng cách giữa các điện cực, dẫn đến thay đổi điện dung. Thiết bị có kích thước tổng thể nhỏ hơn 2 mm², độ nhạy cao và tiêu thụ năng lượng thấp. Thử nghiệm trong môi trường mô phỏng sinh học cho thấy sai số đo dưới 5% trong dải áp suất từ 0 đến 300 mmHg. Thiết bị có tiềm năng ứng dụng trong theo dõi huyết áp nội mạch, áp suất nhãn cầu và các chỉ số sinh lý khác.