Thiết kế cảm biến khí quang phổ sóng dẫn khe treo chalcogenide/silica trên silicon trong vùng hồng ngoại giữa với hiệu ứng tương tác ánh sáng-khí tăng cường

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Cảm biến khí sử dụng cấu trúc sóng dẫn khe treo chalcogenide/silica trên silicon được đề xuất nhằm tăng cường tương tác ánh sáng-khí và giảm tổn thất sóng dẫn trong vùng hồng ngoại giữa. Vật liệu chalcogenide được dùng làm lớp lõi, silica làm lớp đệm hỗ trợ, với phần silica dưới lõi bị loại bỏ để tăng hiệu quả cảm biến. Cảm biến đạt hệ số giam giữ công suất (PCF) lên đến 85.77% tại bước sóng 3291 nm. Với khí CH4 làm đối tượng thử nghiệm, giới hạn phát hiện đạt 1.70 ppm, thời gian đáp ứng < 3 µs, chiều dài sóng dẫn tối ưu là 1.45 cm. Cấu trúc cảm biến cho thấy độ ổn định cao trước biến đổi nhiệt độ, áp suất và sai số chế tạo, hứa hẹn ứng dụng trong giám sát môi trường và thiết bị đeo.