Phương pháp chiếu xạ VUV 172 nm trong môi trường không khí giúp chuyển hóa tiền chất zinc acetate thành màng ZnO tinh thể nano. Quá trình này loại bỏ hoàn toàn các nhóm hữu cơ, tạo ra màng ZnO gần như tinh khiết với cấu trúc wurtzite. Các mẫu vi mô ZnO có độ phân giải cao (1 µm) được tạo ra bằng chiếu xạ qua mặt nạ quang học. Kết quả phân tích FTIR, XPS, TEM và EDX xác nhận sự hình thành mạng Zn-O-Zn và cấu trúc tinh thể đa hình. Phương pháp này đơn giản, hiệu quả, không cần quang trở và phù hợp với vật liệu nhạy nhiệt như polymer, mở ra tiềm năng ứng dụng trong thiết bị điện tử linh hoạt.