Sự phân hủy cấu trúc thơm của graphene đơn lớp trên nền silicon vô định hình trong môi trường nước, hydro và ánh sáng tử ngoại cực mạnh

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Tài liệu trình bày quá trình phân hủy cấu trúc thơm của graphene đơn lớp khi tiếp xúc với ánh sáng EUV trong môi trường có nước và hydro. Kết quả cho thấy graphene bị oxy hóa, hình thành các nhóm ketone và enol, đặc biệt tại các ranh giới hạt và điểm khuyết. Phân tích RAIRS xác nhận sự hình thành các liên kết C=O, trong khi XPS cho thấy sự giảm liên kết sp2 và tăng liên kết sp3. Quá trình oxy hóa có xu hướng bão hòa theo thời gian. Ngoài ra, nghiên cứu cũng chỉ ra rằng áp suất hydro cao thúc đẩy quá trình oxy hóa, trái ngược với vật liệu ruthenium. Điều này cho thấy graphene cần có mật độ khuyết tật thấp để ứng dụng trong môi trường EUV.