Nghiên cứu đề xuất phương pháp chuyển mẫu nano từ khuôn COP sang PDMS bằng ánh sáng VUV. PDMS được phủ lên khuôn và chiếu VUV để hoạt hóa bề mặt, sau đó liên kết với kính qua phản ứng khử nước tạo liên kết siloxane. Phân tích FTIR xác nhận sự hình thành nhóm OH và giảm nhóm CH₃ trên bề mặt PDMS. Hình ảnh AFM cho thấy mẫu nano được chuyển thành công với độ chính xác cao. Phương pháp này không cần chất tách khuôn, phù hợp cho sản xuất hàng loạt và ứng dụng trên bề mặt cong như kính, màn hình, pin mặt trời. Liều chiếu VUV tối ưu là 125 mJ/cm².