Mô hình phân tán quang học tổng hợp cho hằng số quang học của màng oxit kim loại từ vùng tử ngoại đến cận hồng ngoại

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Màng oxit kim loại có chiết suất cao được ứng dụng rộng rãi trong thiết kế lớp phủ quang học. Việc xác định chính xác hằng số quang học là cần thiết cho các ứng dụng này. Nghiên cứu này xây dựng mô hình phân tán tổng hợp từ Tauc-Lorentz và Cody-Lorentz để mô tả chiết suất và hệ số hấp thụ của màng HfO2 và Ta2O5 trong vùng từ tử ngoại đến cận hồng ngoại. Các màng được chế tạo bằng kỹ thuật phún xạ ion và đo phổ phản xạ, truyền qua. Mô hình tổng hợp cho kết quả phù hợp hơn so với mô hình đơn, đặc biệt trong vùng gần bandgap, và cho phép xác định năng lượng bandgap và năng lượng phonon. Kết quả cho thấy mô hình có ý nghĩa vật lý rõ ràng và có thể ứng dụng rộng rãi trong phân tích quang học màng oxit kim loại.