FPM là kỹ thuật phục hồi pha cho phép tạo ảnh độ phân giải cao từ tập hợp ảnh độ phân giải thấp chụp với các góc chiếu sáng khác nhau.

• Các nguồn sáng LED ở bước sóng viễn thông có công suất thấp (~2–4 mW), gây khó khăn cho FPM; laser được sử dụng thay thế để tăng công suất và giảm nhiễu.
• - Laser femtosecond được sử dụng có bước sóng trung tâm 1560 nm, xung 200 fs, tần số lặp 50 MHz, công suất trung bình 20 mW.
• - Thiết lập thí nghiệm gồm kính hiển vi Nikon Eclipse Ti, camera hồng ngoại Hamamatsu, và hệ thống chiếu sáng bán cầu (HLG) với 76 lỗ chiếu sáng ở các góc khác nhau.
• - 28 ảnh được chụp tương ứng với 28 góc chiếu sáng có NA < NA của vật kính (0.65), cho phép đạt NA tổng cộng là 1.18.
• - Ảnh thu được có độ nhiễu speckle thấp (hệ số tương phản speckle SC = 0.28 so với 0.95 ở laser liên tục).
• - Thí nghiệm được thực hiện với mẫu Ronchi-Ruling (chu kỳ 10 μm), cả khi đặt trực tiếp và khi đặt dưới wafer silicon dày ~375 μm.
• - Kết quả cho thấy FPM có thể phục hồi ảnh và pha của mẫu xuyên qua silicon, mở ra ứng dụng trong kiểm tra chip bán dẫn.