Đặc tính vùng của lớp phủ YSZ chế tạo bằng plasma Ar/He/H mở rộng ở áp suất rất thấp

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Bài báo trình bày sự phân vùng rõ rệt trong lớp phủ YSZ theo hướng xuyên tâm của plasma mở rộng, bao gồm ba vùng: vùng lắng đọng pha hơi, vùng chuyển tiếp và vùng tích tụ. Mỗi vùng có đặc điểm cấu trúc khác nhau, từ cột lớn dạng súp lơ đến lớp phủ đặc. Sự khác biệt này liên quan đến trạng thái và phân bố của hạt bột trong plasma. Kết quả cho thấy vùng trung tâm có đường kính khoảng 80 mm là nơi hình thành cấu trúc cột rõ nhất. Mô hình phân bố hạt được đề xuất giúp hiểu rõ hơn về quá trình PS-PVD và kiểm soát chất lượng lớp phủ trong sản xuất công nghiệp.