Cảm biến MEMS linh hoạt, tự đóng gói và thiết bị thu năng lượng uốn cong

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Các cảm biến MEMS linh hoạt được chế tạo trên nền polyimide, sử dụng kỹ thuật vi chế tạo và đóng gói tự động để tạo ra thiết bị mỏng, nhẹ, có khả năng uốn cong và tự bảo vệ. Cảm biến nhiệt độ sử dụng vật liệu YBCO cho độ nhạy cao, cảm biến áp suất sử dụng cấu hình cầu Wheatstone với vật liệu piezoresistive hoặc piezoelectric. Gia tốc kế linh hoạt được phát triển dựa trên nguyên lý khối lượng-lò xo và có thể đo gia tốc đến 20g. Các thiết bị thu năng lượng sử dụng hiệu ứng áp điện và ma sát điện. Kết quả cho thấy các thiết bị linh hoạt có hiệu suất tương đương hoặc vượt trội so với thiết bị cứng, đồng thời mở ra ứng dụng trong y sinh, robot, điện tử đeo và da điện tử.