Màng mỏng TiO₂ được xử lý ở các nhiệt độ từ 300–600 ℃ để khảo sát ảnh hưởng đến cấu trúc tinh thể và tính chất quang học. Kết quả cho thấy ở 500 ℃, màng đạt độ kết tinh cao nhất với pha anatase chiếm ưu thế, giúp tăng khả năng truyền sáng và giảm độ phản xạ. Phân tích XRD và UV-Vis cho thấy sự chuyển pha từ amorphous sang anatase và rutile tùy theo nhiệt độ xử lý. Ở 600 ℃, màng bắt đầu suy giảm tính chất quang do sự kết tụ hạt và hình thành pha rutile. Màng TiO₂ xử lý ở nhiệt độ tối ưu có tiềm năng ứng dụng trong cảm biến, pin mặt trời và thiết bị quang học.