Ảnh hưởng của công nghệ phủ ampoule lên màng carbon và tinh thể GaSb

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Bài báo trình bày quy trình phủ màng carbon lên thành trong của ống thạch anh bằng phương pháp bay hơi chân không, sử dụng CH₃CH₂OH làm nguồn carbon. Áp suất khí được điều chỉnh từ 4 Pa đến 12 Pa để khảo sát ảnh hưởng đến độ nhám bề mặt và độ bám dính của màng carbon. Kết quả cho thấy áp suất thấp (4 Pa) tạo ra màng carbon mịn, độ bám cao và cải thiện chất lượng tinh thể GaSb: giảm mật độ sai hỏng, tăng độ linh động của hạt tải và giảm điện trở suất. Ngược lại, áp suất cao gây bong tróc màng, tăng sai hỏng và làm giảm tính chất điện của tinh thể. Nghiên cứu khẳng định vai trò quan trọng của kiểm soát áp suất trong công nghệ phủ ampoule.