Thiết kế và chế tạo thiết bị đo lực siêu nhỏ sử dụng cảm biến điện dung tích hợp cho ứng dụng y sinh

( 0 đánh giá )
Miễn phí

Thiết bị đo lực được phát triển trên nền tảng công nghệ MEMS, sử dụng cảm biến điện dung với cấu trúc màng mỏng biến dạng khi có lực tác động. Sự thay đổi khoảng cách giữa các điện cực tạo ra sự biến thiên điện dung, từ đó xác định giá trị lực. Thiết bị có kích thước nhỏ hơn 2 mm², độ nhạy cao và tiêu thụ năng lượng thấp. Thử nghiệm cho thấy sai số đo dưới 5% trong dải lực từ 0 đến 100 mN. Thiết bị có tiềm năng ứng dụng trong các hệ thống theo dõi lực tiếp xúc trong y học, như cảm biến áp lực trong da nhân tạo hoặc thiết bị hỗ trợ phẫu thuật.